電源開(kāi)功率后，T,L值跑到99%后無(wú)法起輝
發(fā)布時(shí)間：2015-08-18 09:01 發(fā)布人：admin 瀏覽量：3126
1.如果之前是能正常使用的，出現這種情況多數是負載發(fā)生變化導致匹配范圍超出如真空度，腔體發(fā)生變化。
2.如果腔體及靶材沒(méi)有發(fā)生變化，可以檢查一下預置位置是否太偏?？梢試L試取一個(gè)T/L 50%的預置點(diǎn)來(lái)重新匹配?；蛘邍L試手動(dòng)調節T/L是否能夠達到匹配。
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